Hassas parça işleme, tüm yüzey işleme içeriğini tek bir işlemde tamamlamak mümkün değildir, tüm hassas parça işleme süreci aşağıdaki aşamalara ayrılabilir.
1, kaba işleme aşaması. Her bir işleme yüzeyinin işleme payının çoğunu kesin ve ince referansın dışında işleme yapın; ana düşünce, üretkenliği olabildiğince artırmaktır.
2, Yarı bitirme aşaması. Kaba talaşlı imalattan sonra ortaya çıkabilecek kusurları kesin ve ikincil yüzeyin talaşlı imalatını tamamlarken, belirli bir işleme hassasiyeti gerektiren ve uygun bitirme marjını sağlayan yüzeyin tesviyesine hazırlanın.
3, Bitirme aşaması. Bu aşamada, büyük kesme hızı, küçük ilerleme ve kesme derinliğinin kullanılması, parçanın yüzeyinin çizimin teknik gerekliliklerini karşılaması için önceki işlemin bıraktığı bitirme marjını kaldırır.
4, Hafif bitirme aşaması. Esas olarak yüzey pürüzlülük değerini azaltmak veya işleme yüzeyini güçlendirmek için kullanılır, esas olarak yüzey pürüzlülüğü gereksinimleri çok yüksektir (ra 0.32μm'den küçük veya eşittir) yüzey işleme.
5, Ultra hassas işleme aşaması. 0.1-0.01μm olarak işleme hassasiyeti, yüzey pürüzlülük değeri ra 0,001μm işleme aşamasına eşit veya ondan az. Ana işleme yöntemleri şunlardır: hassas kesim, ince ayna taşlama, hassas taşlama ve parlatma vb.