Japon bilgin Omori ve diğerleri, 1987'den beri süper aşındırıcı taşlama taşları üzerinde araştırma yaptılar, elektrolitik İşlem İçi Giydirme (ELID) kullanarak bir taşlama yöntemi geliştirdiler ve sert ve kırılgan malzemelerin yüksek dereceli ayna taşlama ve sünek taşlama işlemlerini gerçekleştirdiler. ve şimdi yöntem, küresel, küresel olmayan lenslerin ve kalıpların ultra hassas işlenmesinde başarıyla uygulandı.
① ELID ayna taşlama prensibi
ELID taşlama sistemi şunları içerir: metal bağ ultra ince taneli süper sert aşındırıcı taşlama tekerleği, elektrolitik kaplama güç kaynağı, elektrolitik kaplama elektrotu, elektrolit (taşlama sıvısı olarak da kullanılır), elektrikli fırça ve takım tezgahı ekipmanı. Taşlama işleminde, taşlama çarkı güç kaynağının pozitif kutbuna elektrikli fırça vasıtasıyla bağlanır, takım tezgahına takılan pansuman elektrotu güç kaynağının negatif kutbuna bağlanır ve taşlama arasına elektrolit dökülür. tekerlek ve elektrot, böylece güç kaynağı, taşlama çarkı, elektrot, taşlama çarkı ve elektrotlar arasındaki elektrolit tam bir elektrokimyasal sistem oluşturur.
ELID taşlama kullanılırken, kullanılan taşlama taşı, güç kaynağı ve elektrolit için bazı özel gereksinimler vardır.
Taşlama çarkının bağlayıcı maddesinin iyi elektriksel iletkenliğe ve elektrolize sahip olması gerekir ve bağlayıcı madde elemanının hidroksit veya oksidi iletken değildir ve suda çözünmez. ELID taşlama için kullanılan güç kaynağı, elektrolitik işlemenin DC güç kaynağını veya çeşitli Waveform darbeli güç kaynağını veya DC tabanlı darbeli güç kaynağını kullanabilir. ELID öğütme işleminde elektrolit yalnızca öğütme sıvısı görevi görmez, aynı zamanda öğütme bölgesinin sıcaklığının düşürülmesinde ve sürtünmenin azaltılmasında da rol oynar. ELID öğütme işleminde genellikle suda çözünür bir öğütme sıvısı kullanılır; bu, bağ bazlı bir taşlama çarkı kullanan bir takım tezgahıdır. Mukavemet yüksektir ve uygun miktarda elektroliz ayarlanarak taşlama tekerleği aşınması küçüktür. Aynı zamanda yüksek şekil doğruluğu elde edilebilir. Bu ilke uygulanarak, düz yüzeylerden küresel olmayan yüzeylere kadar çeşitli şekillerdeki optik bileşenlerin ultra hassas ayna taşlaması gerçekleştirilebilir.
②ELID ayna taşlama deney sistemi
Rank Pneumo Company'nin ASG-2500T takım tezgahında, kaba şekillendirme için 400# ve 1000# veya 2000# kullanmak üzere taşlama çarkı, güç kaynağı, elektrot, taşlama sıvısı vb.'den oluşan Omori ELID sistemi kurulur yarı terbiye için. Ayna taşlama yaparken, DC yüksek frekanslı darbe voltajı kullanarak 4000# (ortalama parçacık boyutu yaklaşık 4μm'dir) veya 8000# (ortalama parçacık boyutu yaklaşık 2μm'dir) dökme demir bağlı elmas taşlama tekerleği, elektrolitik bileme güç kaynağı (ELID güç kaynağı) kullanın Tip özel güç kaynağı, çalışma voltajı 60V, akım lOA'dır. Taşlama sıvısı kullanılırken suda çözünen öğütme sıvısı AFH-M ve CEM'in 50 kat saf su ile seyreltilmesi gerekmektedir.
③ ELID ayna taşlama deneysel yöntemi ve deneysel sonuçları
Asferik yüzey işleme için, düz taşlama çarkı yalnızca iş parçası miline takılı kase şeklindeki taşlama çarkı (325# dökme demir bağlı elmas taşlama çarkı φ30×W2mm'dir) tarafından oluşturulur ve entegre edilir. Kaba taşlama ve 1000# yarı bitirme ve son olarak ELID ayna taşlama için 4000# kullanın. ELID taşlama teknolojisinin yardımıyla ultra hassas asferik işleme makinesinde, optik cam BK-7 asferik lens başarıyla işlendi. . Yüzey doğruluğu o'dan daha iyidir. 2μm, yüzey pürüzlülüğü Ra20nm'ye ulaşır ve LASFN30 ve Ge gibi hafif yumuşak malzemelerin asferik yüzey işlemesi için yüzey doğruluğu da O'dan daha iyi olabilir. 2-O. 3μm, Ra30nm'ye kadar yüzey pürüzlülüğü.