Ultra hassas takım tezgahlarının geliştirilmesi, ultra hassas işlemenin geliştirilmesi için önemli bir ön koşuldur. Son yıllarda, gelişmiş ülkeler çeşitli gelişmiş ultra hassas işleme takım tezgahlarını başarıyla geliştirdiler. Ultra hassas takım tezgahlarının geliştirme yönü, ultra hassas takım tezgahlarının doğruluğunu daha da artırmak, büyük ölçekli ultra hassas takım tezgahları geliştirmek ve çok işlevli ve yüksek verimli özel amaçlı ultra hassas takım tezgahları geliştirmektir.
Amerika Birleşik Devletleri, İngiltere, Almanya ve diğer ülkeler 1970'lerde (1980'lerde Japonya) ultra hassas takım tezgahları üretmeye başladılar ve bunları partiler halinde tedarik edebiliyorlar. Büyük ölçekli ultra hassas takım tezgahları açısından, Amerika Birleşik Devletleri'ndeki HBÖ Ulusal Laboratuvarı, 1986'da iki büyük ölçekli ultra hassas elmas tornayı başarıyla geliştirdi: biri, işleme çapına sahip yatay bir DTM-3 elmas torna tezgahıdır. 2,1 m ve diğeri 1,65 m işleme çapıdır. LODTM Dikey Büyük Optik Elmas Torna. Bunlar arasında, LODTM dikey büyük optik elmas torna, dünyadaki en yüksek hassasiyete sahip ultra hassas takım tezgahı olarak kabul edilmektedir. Amerika Birleşik Devletleri daha sonra büyük optik aynaların hassas bir şekilde taşlanması için büyük ölçekli bir 6-eksenli CNC hassas taşlama makinesi geliştirdi.
İngiliz Cranfield Hassas İşleme Merkezi, 1991 yılında, hassas serbest biçimli yüzeyleri işleyebilen (taşlama, tornalama) ve ölçebilen OAGM-2500 çok işlevli üç koordinatlı CNC taşlama makinesini (tabla alanı 2500 mm × 2500 mm) başarıyla geliştirdi. Takım tezgahı, iş parçalarını birleştirme yöntemini benimser ve astronomik teleskoplarda 7,5 m çapındaki büyük aynaları da işleyebilir.
Japonya'nın çok işlevli ve yüksek verimli özel amaçlı ultra hassas takım tezgahları hızla gelişti ve bu, Japonya'nın mikroelektronik ve ev aletleri endüstrilerinin gelişimini desteklemede iyi bir rol oynadı.